扫描电子显微镜（SEM）是依据电子与物质相互作用制造的，当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征 x 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等电子信息，扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对 x 射线的采集，可得到物质化学成分的信息。
通过 SEM 可对样品进行微观形貌观察、微观尺寸测量、断口分析、界面观察、锡须观察，结合 EDS 可对样品进行表面物质元素分析。
